A6 - Materiais e Processos de Micro e Nanofabricação

Responsável: Stanislav Moshkalev

A6 - Materiais e Processos de Micro e Nanofabricação

Responsável: Stanislav Moshkalev

Responsável: Cláudio Radtke (UFRGS-IQ)

Email: claudio.radtke@ufrgs.br

Resumo: O principal objetivo do presente projeto é a compreensão e o controle de processos químicos que ocorrem nas superfícies e interfaces de materiais bidimensionais utilizados principalmente em nanoeletrônica, mas que também apresentam potencial em outras áreas como energia. Uma das principais características dessa classe de materiais é a elevada relação superfície/volume, a qual exige a utilização de ferramentas de preparação e análise adaptados. Mais especificamente, serão investigadas i) a síntese de dicalcogenetos de metais de transição (WS2 e MoS2) com controle do número de monocamadas formadas e ii) a funcionalização dos materiais sintetizados, visando ao controle de suas propriedades físico-químicas. Já desenvolvemos metodologias para o crescimento desses materiais de maneira organizada sobre substratos cristalinos e a dopagem dos mesmos por via química. Pretendemos expandir tal conhecimento para aumentar a aplicabilidade desses materiais em áreas estratégicas.

Responsável: Rogerio Luis Maltez (UFRGS-IF)

Email: maltez@if.ufrgs.br

Resumo: Nosso foco é na síntese de nano-camadas de semicondutores por feixe de íons.  No IF-UFRGS disponibilizamos de dois aceleradores, um de 500 kV e outro de 3 MV. Estes equipamentos nos possibilitam tanto efetuar dopagens em semicondutores como também modificar substancialmente a sua composição, mediante elevadas doses de implantação. Também nos possibilitam analisá-los composicional e estruturalmente, mediante técnicas de caracterização por feixe de íons, usualmente realizadas no acelerador de mais alta energia.

Com este instrumental realizamos a síntese de 70 nm do semicondutor GaN sobre GaAs (Coelho-Júnior e R. L. Maltez, https://doi.org/10.1016/j.nimb.2019.02.023; Coelho-Júnior, J. H. R. dos Santos, e R. L. Maltez, https://doi.org/10.1016/j.tsf.2017.09.021). O nosso procedimento: deposição por sputtering de 120 nm de Si3N4 sobre GaAs, implantação de N+ em Si3N4/GaAs à 450°C, e recozimento à 850°C sob N2. Acreditamos que, até a data, obtivemos o melhor resultado entre os trabalhos da literatura, que também tentaram realizar sínteses de GaN por feixe de íons. GaN é um material de gap de banda grande e direto com emissão no ultravioleta, sendo que suas ligas com In são largamente empregadas na fabricação de lasers e LEDs azuis. Dentro desse contexto, também realizamos uma caracterização da emissão fotoluminescente de nosso GaN sintetizado (H. Coelho-Júnior e R. L. Maltez,  https://doi.org/10.1016/j.optmat.2020.109727). Observamos emissões do gap de banda (3,4 eV) e também de três bandas de emissões devido à defeitos, amarela (YL), verde (GL) e azul (BL), em intensidades comparáveis. Nos estágios iniciais da síntese de GaN por técnicas de crescimento como MBE e MOCVD, as amostras também apresentavam-se com muitos defeitos e, mesmo assim, LEDs construídos com esses semicondutores eram bastante insensíveis à alta concentração de discordâncias: devido à maior eficiência de captura de portadores pelos centros luminescentes associados à flutuações composicionais de In. No presente estágio da pesquisa, temos por objetivo sintetizar ligas do tipo InxGa(1-x)N, e caracterizar as amostras em termos de sua emissão fotoluminescente.

Em outra frente de pesquisa sintetizamos SiC sobre Si, a partir da implantação de C em SiO2/Si, à 600oC, seguida de recozimento à 1250oC. Estabelecemos aqui um nicho de expertise, onde o trabalho inicial data de 2006 (R. L. Maltez, et al., https://doi.org/10.1063/1.2344813). Recentemente desenvolvemos um novo procedimento para sintetizar SiC a partir de Si (E. Ribas e R. L. Maltez, https://doi.org/10.1016/j.tsf.2021.138702; E. Ribas, H. Boudinov e R. L. Maltez, https://doi.org/10.1016/j.nimb.2019.02.026): SiC é indiretamente obtido pela implantação de C no SiO2 que, após tratamento térmico a 1250 oC, difunde para a interface SiO2/Si onde o sintetiza. Um desafio atual é aumentar o raio de captura do C pela interface, que é muito curto (50 nm). Nosso objetivo é ativar uma difusão de longo alcance por coimplantações de outros elementos dentro da mesma região do C no óxido, ou modificando parâmetros de recozimento ou de implantação.

Em ambos estudos as camadas sintetizadas podem ser reveladas à superfície por remoção das capas superficiais de óxido: remoção de  120-nm-Si3N4, para revelar GaN, e de 240-nm-SiO2, para revelar SiC.

Responsável: Raquel Giulian (UFRGS-IF)

Email: raquel.giulian@ufrgs.br

Resumo: O presente projeto tem como principal objetivo o estudo das propriedades termoelétricas de filmes contendo In, Ga, Sb, Co e Zn fabricados por magnetron sputtering e modificados por irradiação iônica. Filmes de antimonetos (InGaSb) e skutteruditas  (InCoSb) com diferentes concentrações elementares serão depositados por magnetron sputtering e posteriormente modificados por irradiação iônica. A concentração elementar dos filmes será investigada pelas técnicas Rutherford backscattering spectrometry (RBS) e particle induced x-ray emission (PIXE), enquanto que a estrutura cristalina dos filmes será avaliada por grazing incidence x-ray diffraction (GIXRD), antes e depois das irradiações. Microscopia eletrônica também será utilizada para avaliar a possível formação de poros induzidos por irradiação nos filmes. As propriedades termoelétricas serão investigadas com o uso de um equipamento desenvolvido especialmente para esse fim, onde são feitas medidas de tensão e corrente nas amostras enquanto elas são submetidas a um gradiente de temperatura. Esse projeto prevê não somente a obtenção de resultados científicos muito relevantes para o desenvolvimento de tecnologias relacionadas à geração de energia limpa, mas também contribui para a formação de recursos humanos com a participação de estudantes de graduação, mestrado e doutorado.

Responsável: Marcos Vinicius Puydinger dos Santos (UNICAMP-FEEC)

Email: mpuyding@unicamp.br

Resumo: A tensão mecânica (stress), quando aplicada em um material semicondutor, altera sua simetria e, consequentemente, a sua estrutura de bandas, que está relacionada com as propriedades eletrônicas, ópticas e térmicas do material. Nesse sentido, semicondutores tensionados mecanicamente são de grande interesse para aplicações em sensores biomédicos, nanobalanças, acelerômetros, dentre outras aplicações de transdutores. Além disso, os semicondutores tensionados têm sido pensados como novos conceitos de dispositivos para microeletrônica e em sistemas nanoeletromecânicos (NEMS). Entretanto, as plataformas de tensionamento mecânico reportadas na literatura geralmente são baseadas em atuadores externos, o que limita o nível de stress que pode ser aplicado aos dispositivos e suas possíveis aplicações tecnológicas.

Por outro lado, estudos recentes desenvolvidos na Faculdade de Engenharia Elétrica e Computação (FEEC) e no Centro de Componentes Semicondutores e Nanotecnologias (CCSNano) da UNICAMP demonstraram a engenharia de materiais e processos que possibilitou tensionar nanofios de silício a níveis acima de 6 GPa, próximos do limite teórico para o silício (Spejo et al., J. Appl. Phys. 128, 045704 (2010) https://doi.org/10.1063/5.0013284). Neste sentido, este projeto visa alcançar dois objetivos principais: o primeiro deles é otimizar o processo de fabricação de nanofios de silício já existentes com o intuito de maximizar a tensão mecânica, melhorar o rendimento da produção dessas nanoestruturas e investigar o efeito da piezoresistência gigante no próprio silício, um trabalho inédito na literatura; o segundo objetivo é empregar esses nanofios como plataforma de tensionamento para aplicar stress em materiais bidimensionais (grafeno, MoS2, WTe2, dentre outros) e compósitos. Trata-se de uma plataforma de tensionamento compatível com a tecnologia CMOS e que não necessita de atuadores externos, permitindo gerar stress uniforme e uniaxial em níveis acima dos empregados na indústria.

Portanto, este projeto de pesquisa visa a encontrar a solução para uma questão ainda não resolvida, que é o emprego de altos níveis de stress em materiais bidimensionais e nanofios compósitos. Vale ressaltar que o estudo das propriedades de transporte de nanoestruturas tensionadas é de grande interesse para possíveis aplicações em sensores, químicos e físicos com alta sensibilidade. Este projeto tem grande potencial para gerar resultados de grande impacto científico/tecnológico na área de física dos materiais e de dispositivos.

Responsável: Stanislav Moshkalev (UNICAMP-CCSNano)

Email: stanisla@unicamp.br

Resumo: A síntese assistida por micro-ondas (MW) é uma técnica nova para síntese de variados materiais, em particular com nanomateriais de carbono como nanotubos, grafeno, pontos quânticos de grafeno e nanomateriais híbridos. A irradiação MW é usada para aquecimento rápido e seletivo de material processado, induzindo uma série de reações químicas e transformações estruturais. Os métodos de MW são baseados na transferência de calor sem contato para os reagentes por meio de interações moleculares com o campo eletromagnético. Isso abre a possibilidade de induzir reações localmente em um tempo muito curto com seletividade, maior rendimento e eficiência em comparação com os métodos de aquecimento convencionais. Como a energia é entregue diretamente aos reagentes em nível molecular e em uma escala de tempo curta, isso abre novos caminhos para uma síntese muito eficiente e seletiva de novos nanomateriais e vários híbridos. Em resumo, trata-se de uma técnica barata, rápida, limpa, versátil e economizadora de energia com inúmeras aplicações possíveis. Alguns exemplos de síntese de novos nanomateriais usando o método MW, incluem aplicações em novos sensores, supercapacitores, baterias de lítio, emissão de campo de elétrons, blindagem EMI, entre outros.

Responsável: Stanislav Moshkalev (UNICAMP-CCSNano)

Email: stanisla@unicamp.br

Resumo: Os novos materiais compósitos condutores baseados em polímeros e materiais grafíticos (grafeno e derivados) acham cada vez mais aplicações substituindo gradualmente outros materiais geralmente baseados em metais e óxidos, devido principalmente a sua boa resistência mecânica e flexibilidade, baixo custo e peso, excelentes características elétricas e térmicas.  Ente as aplicações com maior potencial de mercado podemos citar materiais de interface térmica para dissipação de calor em dispositivos eletroeletrônicos, proteção (blindagem) contra emissão eletromagnética, aquecedores flexíveis, entre outras.  O principal foco desta pesquisa está em desenvolvimento de materiais na forma de pastas e filmes, com superiores características elétricas e térmicas, com propriedades anisotrópicas controladas. 

Responsável: Stanislav Moshkalev (UNICAMP-CCSNano)

Email: stanisla@unicamp.br

Resumo: Litografia por ponta de prova térmica é uma tecnologia emergente de gravação de nanoestruturas sem máscara, utilizando uma sonda quente para gravar padrões definidos em um polímero termicamente sensível. Padrões de tamanho sub-20 nm podem ser fabricados com rendimento de até 104–105 μm2 por hora. O método também fornece em tempo real a imagem in situ do padrão enquanto ele está sendo escrito. Configuração mecânica é muito mais simples comparando com e-beam operando sob condições ambientais (sem vácuo). A técnica será utilizada primeiramente para fabricação de dispositivos novos tais como  nanoantenas e nanoestruturas complexas como partículas Janus que  contém várias camadas com propriedades diferentes. Elas contêm pelo menos dois compostos químicos/camadas diferentes e essa assimetria confere às partículas duas ou mais propriedades diferentes, como polar e apolar, hidrofílica e hidrofóbica, magnética e fluorescente, aniônica e catiônica, e por isso tem mostrado boas perspectivas de aplicação nas áreas de química, física, eletrônica, de materiais e biológica.

A área A1 está dividida em 6 sub-áreas que se relacionam entre si e com as demais áreas do NAMITEC.

As redes de sensores sem fio serão tema de estudo nessa área, quer seja para aplicações de monitoramento de solos, visando monitorar a evolução de sua degradação (ou recuperação) com a erosão, quer seja no monitoramento de aterros sanitários, visando monitorar diversos parâmetros, dentre os quais a emissão de biogás, riscos de deslizamento e a infiltração de poluentes no solo, bem como temperatura, umidade e vazão do gás.

Em paralelo serão projetados termo-geradores a semicondutores (TEG) para aplicação em aterros sanitários visando geração direta de energia elétrica por biogás. O monitoramento remoto dos aterros sanitários deverá ser feito também usando drones e/ou dados de satélites.

Além disso, deverá ser desenvolvida uma “árvore inteligente” para monitoramento de incêndios florestais. A alimentação dos circuitos dessa “árvore inteligente” deverá ser feita a partir da colheita de energia térmica do tronco de árvores para geração de energia elétrica durante o dia e durante a noite.

Será utilizado um elemento de IoT que possa ser usado em aplicações multimídia considerando combinar eficiência energética, agilidade, largura de banda e qualidade do serviço, com potencial diferenciado de processamento local de algoritmos de inteligência artificial.

Serão desenvolvidas também soluções que viabilizem a alimentação de dispositivos de baixa e média potência, sem contato. Será aplicada Inteligência Artificial a sistemas de comunicação sem fio com alta eficiência energética. Será feita uma aplicação para registro de sinais eletrofisiológicos neuronais sem fio para experimentos de neurociência com ratos e será desenvolvido LED de emissão em UV (220 nm) para aplicações em saúde.